- • Диаметр пластин: до 12 дюймов (300 мм)
- • Вес (станция): 750 кг
- • Максимальная точность позиционирования: ≤ 1 мкм , ≤ 0.05 мкм (X, Y); ≤ 1 мкм (Z)
- • Скорость перемещения: ≥ 50 мм / с
- • Совместимость с температурой: комнатная, низкая (-60 °C), высокая (+300 °C)
- • Система визуализации: встроенный микроскоп с широким полем обзора и высоким разрешением
- • Возможность экранирования: снижение уровня шумов и защита от внешних воздействий
- • Автоматизация: поддержка автоматических режимов тестирования
- • Программное обеспечение: futureC для управления процессом тестирования и обработки данных
- Специалисты нашей компании подробно проконсультируют вас по подбору программных и аппаратных опций для решения ваших задач.
- *Полные технические характерестики и опции указаны в Технической спецификации Eoulu M1 (Документация).
Зондовая станция Eoulu M1
Зондовая станция Eoulu M1Eoulu M1 представляет собой передовую систему для автоматического тестирования полупроводниковых пластин. Станция M1 оснащена высококачественными компонентами, включая различные типы держателей пластин (чаки) с широким диапазоном рабочих температур, эффективные механизмы виброизоляции и встроенную систему экранирования от внешних воздействий, что делает её идеальным решением для высокоточных производственных процессов и анализа характеристик микросхем на пластинах.
Преимущества:
✓ Зондовая станция со встроенной клеткой Фарадея, позволяющая проводить более точные измерения.
✓ Запатентованные системы статической и динамической карты пластины позволяют выполнять измерения быстрее и точнее.
✓ Запатентованные технологии Zero Error и Virtual Ruler, созданные специально для неровных пластин.
✓ Возможность подключения загрузчика пластин для полной автоматизации.
✓ Возможность заказать держатели пластин под ваши задачи. Доступные диаметры до 300-мм.
✓ Возможность размещения зондовой станции в защитном кожухе для защиты ИУ от света и ЭМП.
✓ Проведение измерений в широком диапазоне температур (-60 °С - +300 °С).
✓ Совместимость с международными стандартами и возможность интеграции с различными измерительными устройствами.
✓ Простота в обслуживании и настройке благодаря специальному программному обеспечению futureC.
| Характеристики держателя пластин | ||||
| Параметр | Ось X | Ось Y | Ось Z | Вращение |
| Диапазон перемещения | 301 мм | 501 мм | 20 мм | 10° |
| Макс. точность позиционирования | ≤ 1 мкм | ≤ 0.05 мкм | ≤ 1 мкм | ± 0.003° |
| Скорость перемещения | ≥ 50 мм / с | ≥ 50мм / с | ≥ 20 мм / с | — |
| Мак. скорость перемещения | 150 мм / с | 150 мм / с | 35 мм / с | — |
| Макс. неровность пластины | 100 мкм | |||
Программное обеспечение:
- FutureC ПО автоматизации
- FutureD ПО обработки данных
- FutureE ПО управления производством
Аксессуары:
- ROA-001 Загрузчик пластин
- SWIT-009 Матрица коммутатор
- Держатель пластин для термосистем
- Аксессуары Держатели зондов, Зонды, Пробкарты, Зондовые иглы, Калибровочные субстраты
