- • Диаметр пластин: до 12 дюймов (300 мм)
- • Вес (станция): 540 кг
- • Максимальная точность позиционирования: ≤ 0.05 мкм (X, Y); ≤ 1 мкм (Z)
- • Скорость перемещения: ≥ 50 мм / с
- • Совместимость с температурой: комнатная, низкая (-60 °C), высокая (+300 °C)
- • Система визуализации: встроенный микроскоп с широким полем обзора и высоким разрешением
- • Возможность экранирования: снижение уровня шумов и защита от внешних воздействий
- • Автоматизация: поддержка автоматических режимов тестирования
- • Программное обеспечение: futureC для управления процессом тестирования и обработки данных
- Специалисты нашей компании подробно проконсультируют вас по подбору программных и аппаратных опций для решения ваших задач.
- *Полные технические характерестики и опции указаны в Технической спецификации Eoulu F1 (Документация).
Зондовая станция Eoulu F1
Зондовая станция F1, разработанная компанией Eoulu, представляет собой передовую платформу для проведения высокоскоростных и высокоточного тестирования полупроводниковых пластин. Зондовая станция обладает уникальной архитектурой, что позволяет гибко адаптировать его к специфическим требованиям заказчика благодаря конфигурируемому программному обеспечению. Ключевые преимущества включают компактные размеры, высокую точность позиционирования, совместимость с системами охлаждения и нагрева. Станция поддерживает функции автоматического анализа и калибровки, а также интеграцию с широким спектром измерительного оборудования. Решения на базе зондовой станции F1 оптимальны для предприятий, стремящихся повысить эффективность процедур контроля качества и сократить временные затраты на тестирование интегральных микросхем.
Преимущества:
✓ Самая компактная 300-мм автоматическая зондовая станция в мире (1 м в ширину). Позволяет разместить её даже в самых маленьких лабораториях.
✓ Самая лёгкая 300-мм автоматическая зондовая станция, вес 540 кг.
✓ Запатентованные системы статической и динамической карты пластины позволяют выполнять измерения быстрее и точнее.
✓ Запатентованные технологии Zero Error и Virtual Ruler, созданные специально для неровных пластин.
✓ Возможность подключения загрузчика пластин для полной автоматизации.
✓ Возможность заказать держатели пластин под ваши задачи. Доступные диаметры 200 мм, 300 мм.
✓ Возможность размещения зондовой станции в защитном кожухе для защиты ИУ от света и ЭМП.
✓ Проведение измерений в широком диапазоне температур (-60 °С - +300 °С).
✓ Совместимость с международными стандартами и возможность интеграции с различными измерительными устройствами.
| Характеристики держателя пластин | ||||
| Параметр | Ось X | Ось Y | Ось Z | Вращение |
| Диапазон перемещения | 301 мм | 301 мм | 20 мм | 10° |
| Макс. точность позиционирования | ≤ 0.05 мкм | ≤ 0.05 мкм | ≤ 1 мкм | ± 0.003° |
| Скорость перемещения | ≥ 50 мм / с | ≥ 50мм / с | ≥ 20 мм / с | — |
| Мак. скорость перемещения | 150 мм / с | 150 мм / с | 35 мм / с | — |
| Макс. неровность пластины | 100 мкм | |||
Программное обеспечение:
- FutureC ПО автоматизации
- FutureD ПО обработки данных
- FutureE ПО управления производством
Аксессуары:
- ROA-001 Загрузчик пластин
- SWIT-009 Матрица коммутатор
- Держатель пластин для термосистем
- Аксессуары Держатели зондов, Зонды, Пробкарты, Зондовые иглы, Калибровочные субстраты
