Высокочастотные зонды
Высокочастотные коаксиальные (RF Probes) и волноводные (Waveguide Probes) зонды представляют собой специализированные контактные устройства, используемые для измерения электрических сигналов высокой частоты на полупроводниковых пластинах и интегральных схемах. Они позволяют проводить точные измерения характеристик испытуемых устройств, таких как амплитуда сигнала, фазовая задержка, коэффициент отражения, вносимые потери.
Преимущества:
✓ Широкий диапазон частот: от DC до 320 ГГц.
✓ Высококачественные материалы наконечников зондов: применяются различные металлы, такие как золото, палладий, никель и медь, обеспечивающие минимальное контактное сопротивление и высокую надежность.
✓ Конфигурация наконечника: доступно несколько конфигураций наконечников (GSG, SG, GSGSG, GSSG) для различных типов испытаний.
✓ Широкий диапазон рабочих температур: от -60° C до + 200°C
✓ Шаг контакта: от 50 мкм до 1250 мкм
✓ Отклонение высоты контактной площадки пластины до 25 мкм
✓ Совместимость с роботизированными зондовыми станциями для автоматизации процесса тестирования.
✓ Длительный срок службы благодаря прочному покрытию и устойчивым к износу материалам.
Высокочастотные коаксиальные зонды (RF Probes)
ВЧ зонды Single - Signal
| Односигнальные ВЧ зонды (Single - Signal) | |||
| Параметр | Серия LF | Серия RF | Серия HF |
| Макс. частота | 50 ГГц | 110 ГГц | 110 ГГц |
| Тип. вносимые потери @ 40 ГГц | - 0.50 дБ | - 0.62 дБ | - 0.571 дБ |
| Тип. обратные потери @ 40 ГГц | - 20.50 дБ | - 17.80 дБ | - 18.54 дБ |
| Тип. контактное сопротивление | 10 мОм | 10 мОм | 10 мОм |
| Конфигурация | GSG, GS,SG | GSG, GS,SG | GSG, GS,SG |
| Шаг зонда | 50 - 1250 мкм | 50 - 1250 мкм | 50 - 1250 мкм |
| Тип. срок службы, циклы | 1.000.000 | 1.000.000 | 1.000.000 |
| Макс. температура | 200 °C | 200 °C | 200 °C |
| Мин. размер контактной площадки | 70 × 70 мкм | 30 × 30 мкм | 30 × 30 мкм |
ВЧ зонды Dual - Signal
| Двухсигнальные ВЧ зонды (Dual - Signal "Differential") | |||
| Параметр | Серия LF | Серия RF | Серия HF |
| Макс. частота | 67 ГГц | 110 ГГц | 110 ГГц |
| Тип. вносимые потери @ 40 ГГц | - 0.80 дБ | - 0.80 дБ | - 0.80 дБ |
| Тип. обратные потери @ 40 ГГц | - 13 дБ | - 13 дБ | - 13 дБ |
| Тип. контактное сопротивление | 10 мОм | 10 мОм | 10 мОм |
| Конфигурация | GSGSG, GSSG | GSGSG, GSSG | GSGSG, GSSG |
| Шаг зонда | 50 - 1250 мкм | 50 - 1250 мкм | 50 - 1250 мкм |
| Тип. срок службы, циклы | 1.000.000 | 1.000.000 | 1.000.000 |
| Макс. температура | 200 °C | 200 °C | 200 °C |
| Мин. размер контактной площадки | 70 × 70 мкм | 30 × 30 мкм | 30 × 30 мкм |
Высокочастотные волноводные зонды (Waveguide Probes)
Волноводные зонды
| Волноводные зонды (Waveguide Probes) 50 ГГц - 110 ГГц | |||
| Параметр | 75 WR-15 | 90 WR-12 | 110 WR-10 |
| Диапазон частоты | 50 - 75 ГГц | 60 - 90 ГГц | 75 - 110 ГГц |
| Вносимые потери модель T / S | - 3 дБ | - 3 дБ | - 3 дБ |
| Обратные потери модель T / S | - 13 дБ | - 13 дБ | - 13 дБ |
| Контактное сопротивление | 10 мОм | 10 мОм | 10 мОм |
| Конфигурация | GSG | GSG | GSG |
| Шаг зонда | 50 - 150 мкм | 50 - 150 мкм | 50 - 150 мкм |
| Срок службы, циклы | 1.000.000 | 1.000.000 | 1.000.000 |
| Макс. температура | 200 °C | 200 °C | 200 °C |
| Мин. размер контактной площадки | 70 × 70 мкм | 70 × 70 мкм | 70 × 70 мкм |
| Волноводные зонды (Waveguide Probes) 90 ГГц - 325 ГГц | ||||
| Параметр | 140 WR-8 | 170 WR-6 | 220 WR-5 | 325 WR-3 |
| Диапазон частоты | 90 - 140 ГГц | 110 - 170 ГГц | 140 - 220 ГГц | 220 - 325 ГГц |
| Вносимые потери модель T / S | - 3 дБ | - 4.7 / - 4 дБ | - 5.2 / - 4 дБ | - 6.5 / - 5 дБ |
| Обратные потери модель T / S | - 13 дБ | - 13 дБ | - 13 дБ | - 13 / 12 дБ |
| Контактное сопротивление | 10 мОм | 10 мОм | 10 мОм | 10 мОм |
| Конфигурация | GSG | GSG | GSG | GSG |
| Шаг зонда | 50 - 150 мкм | 50 - 150 мкм | 50 - 150 мкм | 50 - 150 мкм |
| Срок службы, циклы | 1.000.000 | 1.000.000 | 1.000.000 | 1.000.000 |
| Макс. температура | 200 °C | 200 °C | 200 °C | 200 °C |
| Мин. размер контактной площадки | 70 × 70 мкм | 70 × 70 мкм | 70 × 70 мкм | 70 × 70 мкм |
Калибровочный субстрат (Calibration Substrate)
Калибровочный субстрат
Калибровочный субстрат ISS (Impedance Standard Substrates) Eoulu предназначен для обеспечения высокоточной калибровки векторных анализаторов цепей (VNA) для измерений, проводимых непосредственно на кремниевой пластине (on-wafer). Калибровочные подложки (субстраты) гарантируют стабильность, воспроизводимость и точность при измерении параметров высокочастотных (ВЧ) и сверхвысокочастотных (СВЧ) изделий на пластине.
| Калибровочный субстрат (Calibration Substrate) 40 ГГц - 110 ГГц | ||||
| Заказной номер | Шаг зонда | Конфигурация | Частота | Размеры |
| E-001 | 100 - 250 мкм | GSG | 67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-002 | 100 - 400 мкм | GSG, Right Angle | 67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-003 | 250 - 1250 мкм | GSG | 67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-004 | 250 - 1250 мкм | GS, SG | 40 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-005 | 100 - 250 мкм | GS, SG | 40 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-006 | 100 - 125 мкм | GSGSG, GSGS, SGSG, SGS |
67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-007 | 75 - 150 мкм | GSG | 110 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-008 | 50 - 150 мкм | GSG, GS, SG | 67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-009 | 300 - 650 / 950 мкм | GSGSG / GSSG | 67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-012 | 150 мкм | GSGSG | 67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-013 | 175 - 250 мкм | GSSG, GSS, SSG, GS |
67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-015 | 150 - 225 мкм | GSGSG, GSGS, SGSG, SGS |
67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-018 | 100 - 150 мкм | GSSG | 67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
| E-022 | 250 мкм | GSGSG, GSGS, SGS | 67 ГГц | 20 x 14 / 22 x 15 мм |
Контактный субстрат (Contact Substrate)
Контактный субстрат
Контактный субстрат для DC / RF зондов представляет собой материал, обеспечивающий надежный электрический контакт. Его основное назначение - минимизация искажений сигнала и обеспечение высокой точности измерений при контактировании на испытуемом устройстве.
| Контактный субстрат (Contact Substrate) | |
| Заказной номер | Размеры |
| E-016 | 20 x 14 мм |
Субстрат для очистки зондов (Probe Clean)
Субстрат для очистки зондов
Субстрат для очистки DC / RF зондов играет важную роль в обеспечении надежности и точности измерений. Контакты зондов подвержены загрязнению пылью, частицами образцов и химическими веществами, что негативно влияет на качество сигналов и достоверность полученных данных. Регулярная чистка зондов значительно улучшает их эксплуатационные характеристики, продлевает срок службы сохраняя их работоспособность.
| Субстрат для очистки зондов (Probe Clean) | |
| Заказной номер | Размеры |
| E-30 | 20 x 12 мм |
| E-31 | 20 x 12 мм |
