- Напряжение питания входа 220 В ±10%, одна фаза.
- Модели от 1 кВ до 15 кВ, от 0 Вт до 15 Вт.
- Низкие пульсации 0.5% пик-пик.
- Высокая стабильность.
- Низкий температурный коэффициент.
- Защита от перегрузки, короткого замыкания.
- Положительный, отрицательный и реверсивный выход (программное переключение).
- Локальное и дистанционное программирование, цифровое и ручное управление.
- Цепь защиты interlock.
- Цифровые интерфейсы (опционально) Ethernet (DeviceNet) и RS-232.
- *Дополнительные опции указаны в Технической спецификации Wisman ECA.
Высоковольтный источник питания Wisman серия ECA
Специализированные высоковольтные источники питания серии ECA разработаны для электостатических держателей полупроводниковых пластин (E-chuck). Источники серии ECA обеспечивают бесперебойную работу и высокую стабильность выходного напряжения. Полнофункциональные источники питания выпускаются с диапазоном максимального напряжения выхода от 1 кВ до 15 кВ, мощность выхода от 0 Вт до 15 Вт.
Источники серии ECA имеют низкие пульсации 0.5% пик-пик, гальваническаю развязку входа и выхода.
Все высоковольтные источники Wisman серии ECA имеют аналоговый интерфейс управления, а также опциональные цифровые интерфейсы Ethernet (DeviceNet) и RS-232.
Применение
✓ Электростатический прижим образцов
✓ Обработка полупроводниковых пластин
✓ Бесконтактное (немеханическое) перемещение чувствительных образцов
