- Напряжение питания входа + 24 В, до 2 A.
- Модели ±2 кВ, 13 Вт .
- Низкие пульсации 50 мВ скз.
- Высокая стабильность.
- Низкий температурный коэффициен.
- Защита от перегрузки по току.
- Реверсивный выход.
- Два синхронных высоковольтных выхода (Фаза A и Фаза B).
- Регулировка параметров выхода внешним током и напряжением.
- Локальное и дистанционное программирование, цифровое управление.
- Интерфейсы: (опционально) Ethernet, USB, RS-232, аналоговое управление 15 пин.
- *Дополнительные опции указаны в Технической спецификации Wisman EC.
Высоковольтный источник питания Wisman серия EC
Высоковольтные источники питания специальной серии EC разработаны компанией Wisman для применения в системах электростатического прижима держателей пластин (E-chuck). Полнофункциональные источники питания имеют максимальное напряжения выхода ±2 кВ, мощность выхода 13 Вт.
Источники серии EC имеют низкие пульсации 50 мВ скз, и высокую стабильность. Важнейшей особенностью источников EC является логическое переклюение полярности.
Все высоковольтные источники Wisman серии EC имеют цифровые интерфейсы USB, RS232, Ethernet (опция), а также аналоговый интерфейс управления 15 пин.
Применение
✓ Электростатические прижимы (E-chuck)
✓ Травление
✓ Осаждение
✓ Литография
