НОВОСТИ

Новая функция ReAlign зондовой станции FormFactor SUMMIT200



AUX-chuck FormFactor
Функция ReAlign, позволяющая работать с вертикальными проб-картами теперь доступна и для полуавтоматических и автоматических зондовых станций SUMMIT200

Благодаря широкому спектру возможных дополнений и возможностей модернизации, а теперь и с технологией ReAlign, зондовые станции серии SUMMIT200 представляют собой самую передовую платформу для проведения быстрых и высокоточных измерений для существующих и инновационных и интегральных схем на пластинах диаметром до 200 мм.

Технология ReAlign ™, ранее являвшаяся эксклюзивной функцией измерительной станции CM300xi, теперь доступна и для SUMMIT200. ReAlign задаёт новый стандарт функционала зондовых станций, позволяющий проводить автоматическое выравнивание зондов и проб-карт относительно контактных площадок устройств на пластине в случае, когда имеется ограниченный обзор или совсем отсутствует возможность работы с традиционным осевым вертикальным микроскопом, например, когда используются вертикальные или пирамидальные проб-карты. Данная функция обеспечивает автоматизацию измерений полупроводниковых приборов при различных температурах.

ReAlign для SUMMIT200 предоставляет ряд преимуществ:

  • Высокая точность с технологией Near-On-Axis.
  • Карты вертикальных проб-карт позволяют тестировать передовые устройства для таких приложений, как 5G, IoT, оптические датчики и т. д. В случаях этих приложений обычно требуется проводить измерения на контактных площадках малого размера с низким уровнем давления на площадку и минимальным повреждением зондов, но в то же время с максимально хорошим электрическим контактом в расширенном диапазоне температур.

    Вертикальные проб-карты, такие как карты серии Pyramid, отвечают подобным повышенным требованиям, они обеспечивают максимальную целостность сигнала и минимальное повреждение контактных площадок. Однако подобная конструкция проб-карт ограничивает обзор через расположенный на оси наблюдения вертикальный микроскоп, что делает невозможным традиционное осевое позиционирование зондов на контактных площадках.

    Для решения этой проблемы, реализована функция ReAlign, которая использует до трех камер, расположенных вне оси совмещения, позволяющих определить отдельно, как местоположение меток совмещения на пластинах сверху, так и местоположение наконечников зондов снизу.

    Используя данные с разных камер, программный модуль ReAlign (часть ПО Velox) точно выравнивает пластину или каждый тестируемый кристалл с наконечниками зондов проб-карт по осям X, Y, Z и Theta. Физический модуль технологии ReAlign для SUMMIT200 разработан в виде простого в установке модуля с технологией Near-On-Axis. Благодаря тому, что камеры располагаются как можно ближе к центру, система работает с высочайшей точностью в расширенном температурном диапазоне. Функция ReAlign идеально вписывается в компактные размеры самой зондовой станции SUMMIT200, не меняя её габариты.

  • Поддержка до пяти дополнительных местоположений для установки дополнительных субстратов.
  • Для поддержания автономной работы без участия оператора был разработан новый вспомогательный держатель субстратов AUX-chuck, в котором количество мест для установки вспомогательных субстратов/кристаллов увеличено до пяти. Новый AUX-chuck способен удерживать калибровочную подложку размером до 25 x 25 мм, необходимых для проб-карт серии Pyrana или любую другую чистящую или контактную подложку.

  • Простота переключения между приложениями.
  • Физический модуль ReAlign легко снимается и устанавливается, что позволяет использовать станцию SUMMIT200 для любого другого доступного приложения, будь-то стандартные измерения ВАХ с помощью отдельных зондов или специализированные измерения кремниевой фотоники SiPh. Его можно переустановить за считанные минуты.