Авторизованный партнёр
Keysight Technologies
Официальный дистрибьютор
Cascade Microtech
Официальный дистрибьютор
Maury Micorwave Corporation
Официальный дистрибьютор
Farran Technology
Партнер Spellman


115191, г. Москва, Холодильный пер, д.3, корп.1, стр.4
тел./факс: (495) 955-27-24, 955-27-37, 955-27-98
e-mail: info@ntnk.ru
зондовые методы контроля в микроэлектронике
Измерительные приборы и комплексы
Вычислительная техника
Автоматизация
Keysight WaferPro Express
 КаталогПродукция Keysight TechnologiesПрограммные продуктыАвтоматизация измерений приборов Keysight с помощью ПО WaferPro Express

     Отдел Электронных Измерений компании Agilent Technologies стал компанией Keysight Technologies Подробнее....

   Современное измерительное оборудование, как и полуавтоматические/ автоматические зондовые станции имеют широчайшие возможности по управлению своей работой. И одной из важнейших из этих возможностей является автоматизация проведения измерений.

   1 августа 2010 года компания Agilent вывела на рынок первую утилиту автоматизации измерений на зондовой станции - WaferPro, являвшейся модулем программы для создания моделей IC-CAP. Данная надстройка позволила автоматизировать процесс экстракции параметров полупроводниковых устройств с помощью анализатора/характериографа B1500A и анализаторов цепей для дальнейшего построения моделей устройств на основе полученных данных с учётом разброса параметров по пластине.
   А 1 марта 2014 года EEsof, подразделение Agilent (Keysight) Technologies объявила о выходе в продажу отдельного, независимого от IC-CAP программного продукта - WaferPro Express 2014.04.

PDF  IC-CAP WaferPro. Программная среда для автоматизированных измерений
ВАХ, ВФХ и ВЧ характеристик в САПР IC-CAP
(на русс. языке)



   Изначально пользователям были даны возможности, фактически, уже не написания тестов и плана тестов, а их формирования на основе стандартных, существующих в пакете. Свой тест можно сформировать не написав ни единой строчки кода, необходимого для общения устройств и трансформирования результатов измерений. В дальнейшем количество стандартных тестов выросло и с каждой новой версией они становятся всё более гибкими для использования.



Демонстрация работы WaferPro Express

◄ Скрыть лишнюю информацию ► Прочитать о создании проектов в WaferPro Express
   WaferPro Express имеет систему создания так называемых проектов, которых можно создать бесчисленное множество под различные задачи и они будут храниться в отдельных файлах, которые можно перенести с компьютера на компьютер.
   Основной задачей проекта является формирование плана тестов.

WaferPro Express позволяет создавать планы тестов в соответствии со следующей, иерархической структурой:
      1. Сначала задаются, так называемые последовательности тестов, содержащие значения требуемых температур, наименования пластин, кристаллами и подкристаллами, предназначенными для тестирования в рамках данного проекта;
      2. При наличии термальной системы нагрева и охлаждения полупроводниковых пластин задаются температурные точки, в которых необходимо производить измерения (например, -50°С, +25°С, +125°С). ПО позволяет работать с термосистемой как в ручном режиме, так и автоматизировать процесс выхода пластины на заданную температуру с требуемым временем выдержки;
      3. В случае автоматической станции используются кассеты с серией однотипных пластин, в интерфейсе ПО задаётся количество и названия пластин, находящихся в кассете и добавляется в план;
      4. Следующим пунктом является выбор на карте пластин кристаллов и подкристаллов , предназначенных для тестирования в этом проекте;
      5. Последним пунктом создания плана теста, является назначение определённых видов тестов для выбранных кристаллов и подкристаллов на пластине.

   На данный момент, WaferPro Express позволяет управлять и работать с устройствами только по каналу GPIB (за исключением некоторых функций зондовой станции), но в дальнейшем, предполагается развить и перспективный интерфейс LXI. Программа обладает удобной утилитой создания списка и настройки параметров используемых устройств с возможностью их автоматического поиска и определения. Достаточно одного клика и пары-тройки минут для определения нескольких приборов на каналах GPIB, при этом нет никаких проблем с определением устройств в модульных приборах! Программа автоматически определит все модули и учтёт границы их применения. В WaferPro Express уже имеются драйверы для большого количества устройств (как измерительных, так и вспомогательных, например - источников питания, коммутационных матриц) производства Keysight Technologies, большинства зондовых станций Cascade Microtech и некоторых устройств производства Keithley и Accretech. При необходимости, пользователем могут быть написаны драйвера для других устройств, работающих по протоколу GPIB.

   WaferPro Express 2015.01 имеет в своём установочном дистрибутиве более 50 драйверов для большого количества измерительных и вспомогательных устройств. В будущем планируется создание базы драйверов для всех устройств, предлагаемых Keysight Technologies в качестве оборудования, подключаемого к зондовым станциям. В том числе, заручившись поддержкой своих технологических партнёров Maury Microwave, есть планы расширить диапазон подключаемых устройств импедансными тюнерами, шумовыми приёмниками и программной совместимостью с ПО IVCAD для моделирования полупроводниковых устройств.

◄ Скрыть лишнюю информацию ► Посмотреть список поддерживаемых устройств в WaferPro Express 2015.01

     • Анализаторы по постоянному току:

-  HP 4140 pA Meter and DC Voltage Source
-  HP 4141 DC Source and Monitor
-  HP/Agilent 4142 Modular DC Source and Monitor
-  HP 4145 Semiconductor Parameter Analyzer
-  HP/Keysight 4155 Semiconductor Parameter Analyzer
-  HP/Keysight 4156 Precision Semiconductor Parameter Analyzer
-  Keysight E5260 Series Parametric Measurement Solutions
-  Keysight E5270 Series Parametric Measurement Solutions
-  Keysight/Agilent B1500A Semiconductor Device Analyzer and Curve Tracer
-  Keysight/Agilent B1505A Power Device Analyzer and Curve Tracer
-  Keysight/Agilent B2900 Precision Source Measure Unit
-  Agilent B2960 Low Noise Power Source
-  Keithley 2400 Series Source Meter
-  Keithley 2600 Series Source Meter
-  Keithley 4200-SCS Semiconductor Characterization System

     • LCR-измерители и анализатора импеданса:

-  HP 4194 Impedance Analyzer
-  HP 4271 1 MHz Digital Capacitance Meter
-  HP 4275 Multi-Frequency LCR Meter
-  HP 4280 1 MHz Capacitance Meter
-  HP/Agilent 4284 Precision LCR Meter
-  Keysight 4285 Precision LCR Meter
-  Keysight E4980A Precision LCR Meter
-  Keysight 4294A Precision Impedance Analyzer
-  Keysight E4991A RF Impedance Material Analyzer
-  Keysight B1500A Semiconductor Device Analyzer

     • Анализаторы цепей:

-  Keysight E5061B ENA Series Network Analyzer
-  Keysight E5071C ENA Series Network Analyzer
-  Keysight PNA-X Series Vector Network Analyzer
-  Keysight PNA Series Vector Network Analyzer
-  HP 3577 Network Analyzer
-  HP/Agilent 8510 Network Analyzer
-  HP/Agilent 8702 Network Analyzer
-  HP/Agilent 8719 Network Analyzer
-  HP/Agilent 8720 Network Analyzer
-  HP/Agilent 8722 Network Analyzer
-  HP/Agilent 8753 Network Analyzer
-  Wiltron360 Network Analyzer
-  Anritsu VectorStar Network Analyzer

     • Анализатор потребляемой мощности:

-  Agilent/Keysight N6705 Power Analyzer

     • Динамический анализатор сигналов:

-  HP/Agilent 35670A Dynamic Signal Analyzer

     • Осциллографы:

-  HP 54120T Series Digitizing Oscilloscopes
-  HP 54510 Digitizing Oscilloscope
-  Agilent Infiniium Oscilloscope
-  HP 54750 Series Digitizing Oscilloscopes

     • Генераторы импульсов:

-  HP 8130 Pulse Generator
-  HP 8131 Pulse Generator


   В январе 2015 года с версией Keysight WaferPro Express 2015.01 стало возможно проведение автоматической СВЧ-калибровки, работающей с участием программного обеспечения для калибровки WinCal XE, созданной Cascade Microtech.
   

   Предположительно следующая версия WaferPro Express позволит проводить автоматическую СВЧ-перекалибровку, необходимую, например, в случае изменения температуры полупроводниковой пластины и/или температуры окружающей среды, или определённого времени работы теста.






Узнать больше о WaferPro Express на сайте Keysight


Узнать больше о программе WMS на сайте Keysight


 


Наша почта   Наш канал на YouTube

 
тел.:+7 (495) 955-27-24, 955-27-37, e-mail:  info@ntnk.ru вебмастер: www@ntnk.ru  
Яндекс цитирования Яндекс.Метрика